PFPE真空泵油
真空泵專用之高真空氟醚油是全氟聚醚（PFPE）最重要的應(yīng)用領(lǐng)域之一。PFPE分子結(jié)構(gòu)中存在著與C-C主鍵鍵合的F和O原子，這兩種原子具有很強(qiáng)的電負(fù)性，因此具有很好的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性及優(yōu)異的物理性能。與氯氟烴類潤(rùn)滑劑相比，全氟聚醚潤(rùn)滑劑具有更廣泛的使用范圍，同時(shí)不存在氯氟烴類在高溫下易蒸發(fā)、低溫時(shí)變粘變厚的缺點(diǎn)，又由于其分子中不含氯，因而在使用中不會(huì)因?yàn)闈?rùn)滑劑受壓而對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕。
集成電路等離子蝕刻是在真空條件下進(jìn)行的，必須使用機(jī)械真空泵。由于系統(tǒng)中存在腐蝕性氣體，若用礦物真空泵油，則會(huì)很快變質(zhì)。而全氟聚醚具有特殊的化學(xué)惰性，而且蒸發(fā)性能優(yōu)良，已經(jīng)廣泛用作集成電路等離子蝕刻的真空泵油。
Advlub系列氟醚油（PFPE）產(chǎn)品具有以下特性：
l 全屏蔽結(jié)構(gòu)，高溫穩(wěn)定性為所有PFPE產(chǎn)品中最佳（250℃以上）；
l 無閃點(diǎn)、燃點(diǎn)、不燃燒；
l 低蒸汽壓，低揮發(fā)性；
l 金屬、塑料、彈性體相容性；
l 化學(xué)惰性，耐水及溶劑性能；
l 良好的輻照穩(wěn)定性；
l 低表面張力，高粘度和良好的潤(rùn)滑性；
l 高介電性能；
l 使用安全，無毒，環(huán)境友好。
技術(shù)指標(biāo)：
